这个引出来的M3金属方块是用来做什么用途的，谢谢！

用探针卡对芯片内关键信号进行测试的探测点，通常是针对时序要求很高的电路或者模拟电路中一些至关重要的关键信号（例如受工艺和设计影响的零漂），也有些是IC设计功能模块的测试，测试通过之后，在不影响功能和性能的情况下，这些探测点也就没有去掉的必要了，会保留在最终的芯片中。

probe testing pad

探测点。

学习了！

明白了，原来这样大小的一个PAD已经可以供探针扎上而不会损坏了，谢谢大家！

没有看到pad opening，应该是为了FIB吧

5X5 is very small space, hard to locate the probe tip on the space manually, it's better to have at least 7X7 or 9X9 for easy probing

obviously is probe node. may there be excellent probe tip to locate 5x5 node！