这些顶层金属方块是用来做FIB用的吧？
时间：10-02
整理：3721RD
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以前发帖问过的，现在还是搞不清楚。一般的供探针用的PAD是50umX50um左右。这些顶层金属（M3）方块的面积只有4umX4um，而且上面有钝化层，探针应该是无法直接接触到的吧?这个应该是用来标示重要信号，方便在FIB中定位并生成新的PROBE PAD是吧?
用來增加 FIB 的成功度...
shi di
明白了，谢谢大家！
4*4 探针 也扎得到，可以做测试pad
明白了，谢谢！，看来挖开钝化层就可以PROBE了，记得FIB时候主要耗的时间和费用是在生成新PAD上，这样既省时间，又可节省费用。
不过可能probe两三次就完全氧化了