顶层金属接地
可以把金属表面刮掉一层,露出铜导体,然后跳金丝接地吗?露出铜以后镀金在打金丝可以吗?
顶层金属做FIB?
想要再bonding比较困难,但是可以连到已有的power net上
你流的片顶层金属是铜的?呵呵。相信我,那不是铜的。
刮开镀金,听起来可行。但是怎么刮,顶层钝化层的厚度参数你有么?就算你有参数你有那么高精度的工具么?如果是用小刀刮,那我劝你算了。其次,如果是电镀金的话不好邦定,磁控溅射和CVD的金可以。还有,你版图做好不做lvs的么?如果顶层金属只是接地屏蔽而没有互联作用。你可以不动它,找个屏蔽好点的环境做测试吧。
我想到个方法,你可以用探针(钨针)扎穿钝化层扎到顶层金属上进行测试。但是要非常小心。太用力了就会扎碎了。可以用两枚探针配合金相显微镜,用万用表测到两针导通了就停。还有关于电镀什么的你可以无视了。没法接导线就没法电镀。
FIB成本是不是高了点?
请教一下顶层为什么不会是铜?没有工艺支持吗?
你百度一下“铜互连”。铜离子比较奇怪,工艺复杂度很高,成本很高很高,只有非常大规模的CPU里会用。铜互连可以有效的减小引线电阻,电迁移效应等等。既然能让小编犯这种错误,那么版图肯定是手画的。这和铜互连的应用领域不符。
0.13um之后几乎都用铜互联了。
只有最顶层金属是铝,用来做bondpad,一般叫作 AP 或 AP_RDL 层。
LZ这种情况做FIB吧,如果是量产的话就得respin一次顶层金属了,不过这层掩膜还不算太贵。
"铜互连”似乎搜不出来啥有用的信息嘛,不过copper wire bonding 确实越来越多的被使用起来了,而且成本是比金线便宜的。
你看到的黄颜色的金属可能是CuAl合金,除非是专门的工艺开率在顶层镀金实现低阻抗和高频应用,例如顶层再制造一个片上变压器或者类似2D,3D结构。如果是大电流输出的Power类芯片,顶层金属使用大马士革结构的铜层合金也是常见的,但是金属密度需要大一些,满足大功率输出的要求。
FIB 4颗芯片 互连几根顶层金属走线,5000人民币以内搞定!
我说的是他的电路顶层不是铜。他说要镀金打线来着。我可没说我看到过顶层黄色的金属。
几乎?好像没有吧?
FIB应该可以。