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请问下L-edit中manufacturing grid设置问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请问如果在做版图时的最小线宽是1um,那么在L-edit中的manufacturing grid一般设置为多少,如果此时要画一个大小在2um的六角形元胞,因为六角形的六个点并不都在最小线宽的整数格点上,这样可以实现吗?曝光的图形会产生变形吗?

不懂,权当帮顶~

似乎较难,先参考一下工艺文件,看看需要最小的grid是多大。

o.1um即可。

正六边形怎么画,请教

已知半径画圆,然后用60度线切

有没有高手能解答,同求

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