ESD中HBM测试中的有关问题求助!
时间:10-02
整理:3721RD
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请教下大家!在ESD HBM测试中地对电源打正电failure了,但地对电源打负电PASS了。地对电源打正电是导通的二极管放电能力应该更强的?但failure了,而对电源负电时倒pass 了?大家看哈都有些啥原因?
地PAD是采用什么ESD保护结构, 多少伏的时候失效的,失效模式是什么,这个地与电源之间的距离多远?
確認一下失效的位置是哪 是否為內部電路 有無薄氧化層的閘極直接接到地
GGNMOS失效模式不清楚,HBM测试时2K就failure,距离不是很远,这种状况一般都有哪些可能?
OK! Thanks!
有可能是gateoxide击穿了,也有可能是接P-sub的P+有源区面积太小,不清楚,要具体看layout