TSMC65nm库中的6X2Z、6X1Z有什么区别？

如题，tsmc65nm库中，milkyway中的tf文件以#X#Z.tf为命名方式，X之前的#可以是3,4,5,6，Z前面的#可以使1,2。详细对比了每个文件，发现主要的不同是2Z的文件和1Z的文件中，次高层金属和次高层via的一些属性不同，同时。不知道还有那些不同，希望知道的大神不吝赐教，具体应该使用哪个文件?userguide和相关的文件都看了，也没有找到说明。
另外，lef文件中还分成mt，mt_2两个文件夹，不知道二者有什么区别。

X， Y， Z代表不同宽度厚度的金属层类型。
X的宽度和间距是0.1um， y是0.2um， z是0.4um
6X2Z代表除了m1外， 有m2-m7 共6层x金属层， m8和m9 2层厚的z金属层

详细可以查看tsmc 65的design rule

万分感谢啊。原来这些东西在design rule里面啊。我看了userguide、release note和其他一些库里的文件，就是没看design rule。再次感谢。

TPDN65LPNV2OD3 please ?

upload please, thanks

thanks