TSMC_N65_SP8M5x2z中的5x2z的具体含义？

听人指导的：5x2z是指5层薄金属，2层厚金属。
这些参数是哪给出的定义呢?听说还是y?还有其他的么?有没有详细说明这些参数含义的文档?
是看tf文件的unitmaxThickness参数?
其中x,z所指的是一个范围，还是有最大的thickness上限?

5x是指metal1以上的中间这5层的金属厚度，2Z是2层z厚度的厚金属，最高层的厚度跟封装有关，个人认为xyz 是一个范围，对某种固定工艺来说是固定的值

明白 ，那y指什么?还有其他的参数吗?

X:1X rule(100nm)
Y:2X rule(200nm)