EB data processing
时间：10-02
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EB data processing在芯片工艺中指的是什么?
mebes ?mask data吧，
还是不太懂啊！看库文档，“Metal-2 and Metal-3 are resized by -0.03um (single side) in EB data processing” 这句话说的是什么， Metal怎么被resized呢?
EB 指的是 E-Beam，电子束制备掩膜?为了考虑电子束光刻的邻近效应才resized data?
就是掩膜版处理这种意思