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Design Rule中的Digitized area C(lear) 和D(ark)的含义理解问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
Design Rule中的Digitized areaC(lear) 和D(ark)的含义理解问题

指的是版,用黑版还是白版

有的解释说 亮场和暗场,主要是不太明白它俩的区别,比如说加工一个contact,两者的区别是什么?

簡單的說就是在製造時遮住還是不遮

是指mask 是透光还是不透光。
所以有些mask 是 clear ,有些遮挡的是dark

单纯就contact而言,由于contact需要刻蚀形成,在用contact这层的数据去制作mask的时候就会把contact区域做成透光的。因此一般我们会说这层mask是clear的。

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