金属层为什么选择cu,top层为什么用al
时间:10-02
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金属层为什么选择cu,top层为什么用al
我估计吧,Cu的电阻率小比Al小,而低层的金属导线都很窄,所以低层的用Cu. top的金属比较宽了,对电阻率的要求可以适量放宽一点,所以用成本低一点的Al. 欢迎高手指正
0.13um下 都是cu啊, 不是你选择的啊,fab就是这么定的,
以前的金属层用的是铝,但是随着集成电路工艺尺寸的降低,线延时会变大,铜的电阻比铝小,使用铜对延时有一定的缓解。
top也有用cu的啊 --- 这个不一定
是不是AL打bonding线的时候比较容易点?