有做过20nm以下的吗？
时间：10-02
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相比28nm有何挑战哇?
有什么问题么，主要是double pattern，方法比较复杂吧，比28nm事情多多了，
base clean， min Vt
楼上的两位大侠，可以具体分享一下吗?28nm以下工艺和设计具体会遇到哪些挑战?
非常感谢！
特点是dobule pattern吧drc 规则复杂