MIM电容的画法疑问?
时间:10-02
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M3、M4、MIM的连接关系对吗?
连接关系是对的,但现在的状态是电容的两个极板连在一起了。
metal4应该断开
问一下,MIM层和met3是个什么关系呢?是否处于同一层?
他这个只是说的是电容的正确的链接方式 ....你要是真的连电容根本就不是这样接的...一般的MIM电容的下极板是有两种链接方式 一种就是说M3先跳到top M4 在M4走一段距离在打到底极板上去 ...在就是直接打到底极板上去但是在你打到基板上的上方还是要打到top层上去...这样做的好处就是在制作过程中尽量保证连个极板之间的电势差一样,防止在制作的时候上下极板电位不一样引起的失效,电容就做的更精准。MIM和M3之间才是形成的电容..... 你可以找些质料看看就知道了chrt的DRCrule和TSMC的就是两个很好的例子....
m3是电容的一个极板,mim是另外一个,m4是连线