45nm工艺下互连金属的单位面积电容、边缘电容如何得知？

最近想用一个简单的模型估计一段还没有实际布线的连线电容值，因为长、宽、金属层都可以确定，就想用一些简单公式粗略估算布线后的线电容，但一些数据还未知，如题，还有45nm工艺下的绝缘层厚度是个神马情况呢?
看过ict文件、captable文件，但都看不懂，不知道有没有关于这些的说明文件呢?
不知还有没有更佳的方法，希望各位不吝赐教啊，在下先行谢过！

spice model 文件夹中一般有interconnect 文件

哦?回头我再去翻翻……其实之前也翻过像spice和spice_lpe这种文件夹，没发现想要的或者是我没看懂。

唉，帖子就这样沉了。这问题真的很难吧

查看star RC的manual，上面有具体说明