0.18工艺中M1_SP与M1_SUB有什么区别？
时间：10-02
整理：3721RD
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在用Assura进行版图验证中LVS报错，但我用的是XL画的版图都没有问题，在做衬底接触时发现有两个一样的衬底确实不同的名称，请问它们到底有什么区别?LVS产生的报错是否跟衬底接触有关?
建议用M-sp，没有本质的区别的，很多不同的名称是由于FAB在建PDK的时候没有处理的原因，本质是一样的。
SP应该是P型重掺杂，
SUB是衬底，轻掺杂，
一般需要用SP做衬底接触