造成天线效应的电子是在工艺制造过程中是如何累积的？

离子注入时，METAL,POLY收集电子等，也可以向下跳线

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非常感谢

能不能具体讲一下为什么可以向上或者向下都可以跳线?这是不是要看poly引出的金属线（或者是发生天线效应的金属层）在低层还是高层，低层的话向上跳，高层的话向下跳?

收集电子的多少与poly/metal的面积成正比，所有的metal都是一层一层往上制作的，因此在未与衬底形成通路之前的所有与栅极相连的poly/metal面积不可以超过一定的值，一旦超过就会有击穿栅极氧化层的可能性。因此当出现error时，应该尽可能减小与栅极相连的金属面积，因此就选择往上层金属跳层。