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Double Patterning 有哪些有点?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
如题,在制作某些mask的时候,会采用Double Patterning 技术,请问这样做的好处是什么?

同一层layer分成两张mask,一般小制程会这么用,这样会使mask的制作成本翻倍。分成两张,可以提高分辨率,特别是图像密集的区域。我个人理解,希望对你有帮助。

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