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求教几个小问题,请各位帮忙,先行谢过

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
1、天线效应中,长金属下积累电荷,解决方法之一在gate处跳线。请问,电荷会不会通过via由下层金属转移到上层金属?如果能转移,还是可能 击穿栅氧。如果不能转移,请问工艺中有什么相应步骤?
2、画低压输出管时,drain端cont topoly 规则放大,据说可以提高击穿电压。物理结构没什么变化,如何提高的呢?
另有一说, drain端有个小电阻,规则放大,电阻变大,是这样吗?
再次感谢各位解惑。

沉了么?

是沉了沒錯 .
1.通常做 metal 時 會有 消電荷的步驟
2.我也不知道 ,

十分感谢,已解惑一题。

1,天线效应:金属在刻蚀时会有电荷积累,面积大积累电荷多,容易击穿栅氧。一层金属做完会有清洗的步骤,必然会去除积累的电荷,所以只能上层金属往下层金属传递电荷,而不能下层往上层传递电荷。
2,drain端CT到poly放大能够增加一个寄生的电阻,有缓冲作用,更重要的是增加管子导通的均匀性,不容易击穿。

十分感谢。第二个问题清楚了。麻烦问下,比如:做完一铝——》清洗,去除电荷——》铝连接到管子栅极,不是不会击穿了吗,因为电荷去除了?

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