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有谁能详细讲讲RDL是做什么用的?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
如题,有没有谁用过带RDL的工艺的,给大家介绍介绍。

RDL 是top metal上面的一层 AL
通常来说,现在是铜工艺,在pad区域,为了bonding,在顶层铜的上面还有一层AL,也叫做铝垫,铝比较软,如果只有铜就无法做bonding
既然工艺中有这层 RDL,那么有些设计中就可以用它来做走线,只需要多一层DRL与top metal的via mask即可

学习了

二楼回答的很具体。
补充下RDL一般使用在flipchip 封装形式下来走io,当然power或信号也可以借用来减小寄生电阻

說得好感謝您

“RDL 是top metal上面的一层 AL
通常来说,现在是铜工艺,在pad区域,为了bonding,在顶层铜的上面还有一层AL,也叫做铝垫,铝比较软,铜就无法做bonding”
求教,不是说为了bonding才在铜上加一层铝垫,但是又说铝较软所以做不了bonding?

学习了

sorry, 我表达不清, 我说Cu比较硬,AL比较软,只有加了AL才可以bonding. 如果只有铜就无法bonding.

哦这样 学习了!那请问 这样说来如今的工艺都是带RDL的吗?如果不是 ,别的bonding怎么没有这个问题呢?

0.18um以上工艺的都是AL 连线,所以也不存在RDL层这个issue,因为本身就是AL
现在先进的工艺都是Cu互联线,所以才会有RDL这个东西



多谢明白了

谢谢楼上的回答!

RDL一般是AL很厚,例如TSMC40LP中RDL 至少14400um,它的方阻很小,大概21mOHm每方。你可以用它走电源、地线,以及信号线。对于Flipchip而言,RDL是连接bumps到IOpads最主要的途径。
要充分利用RDL走电源、地,尽量绕道所有能到的地方,对于改善芯片的静态、动态IR很有帮助

14400um?这个果然很厚啊,其实是A,1.44um。一般RDL阻值和top metal差不多。

为什么铜工艺比之前的铝工艺先进啊?还有为什么cu太硬所以没办法bonding?谢谢解答下啊!

想再次请教一下 这次做到RDL的工艺了。1pmt8,其中2tm,但是发现bonding pad上没有这层RDL啊 bonding pad的层次就M1-M6而已 是要自己加吗?实在没想明白

标题


pad 的AL 叫AP ,连线的AL叫RDL ,但这两个是同一层
你是1p8m 工艺,到底是什么metal scheme ,首先要拿对PDK ,然后找到对应library ,不懂就找个cell 分析一下每一层layer

连线的AL是RDL,是指的core连到pad的线吗?
PAD上有PA层 是指的和RDL是同一层的这个不?我这里没找到AP层哎

metal scheme是什么意思?我不太明白 求指教

标题


你用的是什么process ? 仔细读过design rule么?
你用的metal option 是什么?就是几p 几m几x 几y 几z
RDL 是和top metal 连接的AL,是AL连线

这个帖子 要留名学习



你用的是什么process ?65LL 1p8m_2tm
tf里我看到有写RDL是metal 9

仔细读过design rule么?
那个。现实就是没rule..然后我以前也没做过RDL的 一头雾水。

你用的metal option 是什么?就是几p 几m几x 几y 几z
请问xyz是神马?

这是个好贴!

没有rule怎么搞版图啊。这不是坑人么。

65LL 1p8m_2tm 应该是smic的吧
这个process又不是什么很新process,
你们没有官方的PDK和document?
design rule总得有吧,要不你怎么画layout?
顶层metal通常会有不同厚度可以选择的,
比如tsmc的x是一倍厚,y是2倍厚,z是4倍厚,还有R和U那就更厚了
手头没有smic65LL的PDK,查了一下smic40LL,top metal确实没有什么厚度的选择,只有TM1,TM2
RDL层叫ALPA

被坑惯了。P民无力反抗啊。

深表同情

嗯 smic的 有标准库,但是没有design rule、、领导说RDL要额外制版。我们就不用了。这个会有啥问题么 pad bonding啥的?
我看了一下IO库的bonding pad 也没找到RDL这个层次啊 如果用的话是不是自己额外画?

design rule 都没有,那做什么layout
做了也是白做

拿人钱 没办法

学习了,谢谢

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