请问关于孔无铝覆盖的问题
时间:10-02
整理:3721RD
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在改版中涉及到铝板的改动,且只想改动铝板。
出现一个问题,因为两条铝之间的间距不够,想把其中一条往回缩,可以解决间距问题。但出现了Contact无铝覆盖的问题,下面的源漏连接没问题,有其它冗余的孔做连接;问题就是,孔上无铝覆盖是否会导致致命问题?不考虑平坦化不好之类非致命问题的话,好像分析不出有什么问题来。
请教做工艺或者出过类似版子的童子,实际上这个问题效果怎样?如果可行的话,孔和旁边的铝线间距最小可以是多少?2倍铝包孔的距离够否?
出现一个问题,因为两条铝之间的间距不够,想把其中一条往回缩,可以解决间距问题。但出现了Contact无铝覆盖的问题,下面的源漏连接没问题,有其它冗余的孔做连接;问题就是,孔上无铝覆盖是否会导致致命问题?不考虑平坦化不好之类非致命问题的话,好像分析不出有什么问题来。
请教做工艺或者出过类似版子的童子,实际上这个问题效果怎样?如果可行的话,孔和旁边的铝线间距最小可以是多少?2倍铝包孔的距离够否?
没遇到过这种问题,不过我觉得如果这个contact周围没什么重要的易受影响的模块或走线什么的,应该没问题吧,纯属个人猜想。
如果是一排contact都这样的话,那最好还是别移了。
最省的画法是contact的对边只少都要覆盖上金属,如果不满足DRC貌似会在使用一定时间后电迁移好像是(电迁移,既不清了)造成短路。
工艺说这样做的话,在制程检查的时候不能通过(有凹点),不允许了
学习,谢谢!