smic的slot如何使用?
时间:10-02
整理:3721RD
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情况是这样的,m3金属线过宽,drc报错说需要做slot,在工艺里有MnSLOT(m1~m5)(每一层金属对应一个),我该如何使用来正确开槽?现在尝试下来出现如下问题:
1.只用M3,drc报错过宽需要加slot:
2.在M3上覆盖相同大小的一层MnSLOT(m3),drc还是报错m3过宽需要slot
3.只用MnSLOT(m3),不使用M3。 那么label(m3)加不上,并且好像不能用MnSLOT来进行互联。
同时我还发现有MnSLOTB之类的层次。所以我觉得应该是我才疏学浅没弄明白,哪位大神做过这个麻烦指点一下。
在designrule里面看了,只有设计规则,但并没有说slot该怎么做
拜托了
先去design rule 查MnSLOT 和MnSLOTB 区别, 看到底哪层才是SLOT layer, 然后再加到M3上.
问fab怎么做的。
简单点直接在M3上挖槽,肯定没有问题的
恩,我最后还是自己对照design rule上给的挖槽规则自己挖了了事。
之前就是好奇多的slot层干嘛的,看看有没有大神知道。