求助大神,小弟新手
时间:10-02
整理:3721RD
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不知道为什么会出现这个打叉,是错误吗?我只是把栅极都连接起来而已
在PDK看来显示叉叉的部分不应该直接连到一起呗~
个人觉得 有可能是用的tf要求poly接出去必须要用polycont然后metal相连,你查下designrule或者就是个假错mark而已 你run下drc看看有没有相关的error报出来
是不是在XL状态下产生的Mark,如果是可以不用管。
这个好像是.18工艺下的,有两种,1,你分开用metal1和poly的孔连接。2:你让连接后的poly最远端和有源区距离在0.22,我当年好像是这么解决,不行你就检查error报告和rule文件