Pcell的Cont均匀分布
我使用repeat in Y命令做出来的孔是按照从下到上以一定间距增加的,所以两头的有源区包含Cont的间距不一致。
其实均匀分布在实际中有限制,cont比较少的时还可以,cont多的时候S/D多出来的那一点长度就不能够均分
给每一个cont,例如cont size 0.5um*0.5um,space 0.5um,enclose act 0.3um,grid 0.05um,那cont的picth就是1.0um,照这样算S/D端最大的剩余长度是0.95um,最多只能分成0.95/0.05=19份,所以当超过19个cont时就不能均分了,所以当剩余份数不是cont个数整数倍时就不能均分,造成不在grid上。如果仅是让cont居中倒是很好办,给cont做一条Y方向的stretch,在Repetiton里面用这个stretch做dependent stretch,在Adjustment to stretch里面计算出剩余的分数,均分后取整就可以了:
Adjustment to Y stretch:0.05*fix((width-0.3*2+0.5-pcRepeatY*pcStepY+0.001)/0.05/2)
非常感谢您的帮助
专门做一条Y方向的stretch,qualify on cont,假设名为move_cont, move_cont 不能overlap cont,
截图菜单:
stepping distance:cont_pitch
number of Repetitions: fix(width - 2 * act_enclose_cont + cont_space)
Dependent Stretch:move_cont
Adjustment to Stretch:grid *( fix( width - 2*act_enclose_cont + cont_space - pcRepeatY*pcStepY )/grid/2)
一个SKILL函数就可以制作了,你可以找一下。简单设置下,在用户手册有的,暂时忘掉名称了。
Trumen,
非常感谢您的耐心解答,我用您的方法去做了,可能哪个环节有误没有成功。后来我用inherited parameters 命令实现了接触孔的居中问题。很感谢~
这倒是不错,应该很方便,请问这个怎样用?
不好意思,现在才看到你的消息:我所用的孔居中的方法:选中需要居中的对象,Pcell—inherited parameters—Define/Modify。在对应的cutRows(列居中)上填写需要的间距值;/或者在cutcolumns(行居中)上填写需要的间距值。你可以去试一下。
你好!关于孔均分的问题,我看了inherited parameters的资料,它是针对instance的。在选孔的时候,提示是you have not selected instance for inherited parameters 。请问一下,你是如何做到的。说说你的经验嘛!大侠
那你就想办法使CONT变成instance就可以了,你自己画的CONT只是一层layer,显然不行的。多想办法试试
我试了一下你说的方法,没有成功。可能是我做的方法有问题,你能不能把你做pcell的那一步骤用截图的形式做成word发给我一份啊!谢谢了。我的邮箱312755541@qq.com
您好,contact居中的问题你解决了吗?麻烦你告诉下可以吗谢谢!
你好!你上次说的把cont做成instance的方法,我试过了。不过还是不行呢。你能说说你做的步骤吗?
2楼我收下了 谢谢!