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RF MOS layout 问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:



这是TSMC40 RF PMOS 的版图示意图,看不懂最下面的deep nwell 是干什么的,有哪位大神指导一下,感激不尽!

PMOS deepnwell可有可无
一般deepnwell工艺是相对N腔而言,用于P+抄底防止基板short

增強junction isolation

隔离。屏蔽。

貌似这个地方的DN没什么作用

DNW 可以起到隔离psub的作用;作用和psub2类似;只不过psub2是虚拟隔离,dnw是物理真实隔离;
形象的说法:无dnw的工艺,整个psub是相连的,犹如地表,如果此时围上一圈NW ring,就是类似于挖了一圈壕沟,NW围起来的区域表面上和外部被壕沟隔断了(底下都是地球还是相连的);此时再加入DNW,相当于壕沟底部再挖个平面,这时候这块区域就彻底独立出来了;

很形象,说的很好

说的很形象具体,学习了。

非常感谢您的指导!但是我还有一个疑问就是如果dnw的作用是隔离psub和nw,那么直观上dnw的面积应该比nw大才对,为什么版图上看dnw面积小于nw面积,这不就等于只隔离了一部分吗?
另外还有一个问题请教您,就是如果rfmos在外加guard ring的话,那么guard ring是需要加电位呢,还是直接接地?如果需要加电位那么是要在GSG pad旁边再加一个直流pad吗?

您的理解还是不太正确:dnw的作用是隔离psub,并非nw;nw和nw 之间本来就是不相连的,并不需要额外做隔离(实际layout中我们会再用p ring来隔离是为了强化隔离这件事情);psub默认是和wafer衬底相连的,用nw隔离效果并不是很好,底部还是相连,然后才会引入dnw的概念;随手画的一张图O(∩_∩)O

DNW 放在nmos下面起隔离作用,前面已经有人讲的很详细了。
放在pmos下面主要还是增强管子的能力。因为nw的注入深度有限,加入DNW可以增加nw的深度,可以提供更深的沟道,因为是RF的应用,或许还有耐压的考虑。

学习了,真好

感谢大家的回答!还有一个问题:就是如果rfmos在外加guard ring的话,那么guard ring是需要加电位呢,还是直接接地?如果需要加电位那么是要在GSG pad旁边再加一个直流pad吗?希望不吝赐教!

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