求助关于pad下存在器件的结构
时间:10-02
整理:3721RD
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采用2p2m工艺,在pad层下做了器件二铝作为器件走线。pad不打线不扎针!就纯粹空的!就相当于在器件上加了一个pad层次!由于改版就没去掉!不知道刻蚀pad时对器件是否存在影响?求大神,谢谢!
离子刻蚀没有金属挡到的地方会一直向下刻蚀?
我觉得还是有影响的,因为你的PAD位置下面是有2AL的,也就是说,在这个地方,你先做了一个器件,你用的是2AL,然后在上面开窗了!所以,2AL会暴露的,这样是有风险的。如果是你用的是1AL走线的话,上面开窗PAD的话,你是没有问题的,因为PAD开窗是在2AL上面的,但是此时你下面没有2AL,只是氧化层,这样就没有风险了,不知道我说的对不对?
标题
裸漏出来的二铝有什么影响呢?我的pad不打线不扎针!谢谢?
目前我担心的是pad层下的二铝不是全部覆盖的!在没有二铝的地方离子刻蚀是不是会刻蚀到器件?
这就是对工艺的理解了,我们都知道,在芯片完成时候,最上面是一层钝化层(保护层),起到的作用是保护芯片,防止芯片在测试和封装过程中受到机械磨损以及化学污染物的干扰。而PAD层是在钝化层上面开的窗。是为了连接外面的引脚的方便。如果你这个地方不连接的话,而且还是裸露的,就有可能会导致这个地方的metal2受到机械磨损、化学污染,造成短路或者短路等等其他的影响,或者,在封装、老化、测试中你是不能保证芯片的表面很干净的。这只是存在的风险,并不能说一定会出现问题!
同意6楼。