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smic 中active mim 是什么意思啊?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:


如图是smic018中对MIMDMY层次的使用说明。说在mim上加上这层才做drc check 但是我对比了加不加这层都没做drc检查。
请大神帮忙解答一下

呃,有可能你的LAYER根本就没认到结果加了跟没加一样,那个你得去查TF和MAPPING
另外你可以去看DRC rule里头究竟是怎么描述这层的,要是文档里写得好听结果cmd file里头直接略过那就哈哈哈了
active MIM你可以这么理解,就是那些管用的,组成了器件的,不是dummy的

我做了检查,层次因该是对的。但是还是没有check drc
想问问,你们有遇到过这种情况吗?这个drc不检查会有什么后果啊

会有什么后果……嗯……也就是会漏掉点额外的DRC啊,那不就得看哪些项目没被CHECK出来吗?
打个比方好了,有的MIM下面要求不能放置其他METAL层。要是没CHECK,你放了也不报错。这个不一定是大事,看工艺是否严格到这个程度,有时候是可以忽略的。
MIM用来连接的孔的间距一般都比普通的大很多,如果没CHECK出来,这个可能严重点儿,不过如果你的CAP都是PDK的,一般还真挺难出这个错的。
还有个可能,有的MIM往外连线必须得用TOP层,不能用CAP的BOTTOM层,这个也是DRC能检查到的,如果漏了么……反正这个得看工艺限制,乱猜没用。
我不是很明白你说“没有CHECK DRC”是具体啥情况,是你故意在版图里做了个错,CHECK以后没报出来,还是在整个DRC的report里头就根本没有MIM CAP相关的项目?
如果检查这个挺重要,你的DRC cmd file本身就是不完整的话,你可以自己写几句进去用来检查

非常谢谢这位仁兄的解答,我又看了看,确实是区分不出来active mim和 dummy mim 。参考你的意见,我自己改了改rule。

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