关于fuse的问题

路过，弄器件的讲一下哈

fuse那里钝化层开窗，没有金属什么的阻挡，然后就可能蚀刻到衬底?
烧fuse的时候，fuse可能会搭到衬底上去，短路?
加个nw，形成个pn结，搭上去也不怕?
会不会是这样?

是poly fuse 还是metal fuse? 各家工艺可能还不太一样

貌似你猜对了。

3楼回答正确

楼上是搞工艺的?

我现在都用metai fuse，poly fuse，感觉不好

即使fab没有提供metal fuse，我也是参考别家的工艺做成metal fuse

说说我了解的信息。如图，早期metal刻蚀不利，会刻的比较深，就像我手画的metal两边那两条比较粗的东西，可以直接刻到平面以下，在做trim的时候，如果metal被加热到液体流动时，那两条刻蚀线就起到了contact的作用，metal直接连到了衬底，如果恰好处于将断未断时（这个情况应该极少极少），那么就会对衬底形成漏电，如果加了一层nwell，就可以用nwell-psub形成的diode隔离以下这个漏电。
以上是我咨询了两个同事后得到的信息，不保证正确。
据说现在的工艺刻蚀已经不可能这么烂了。