工艺文件的缩写名词代表意义求教!
时间:10-02
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如题,本人在阅读工艺文件的时候发现了几个名词缩写,不太清楚其含义,在此请教各位大侠
VTFNP
VTFNM
BVGOX
BVDN
BVDP
我大概只能猜到BVGOX代表gate oxide failed,其余的还没明白
VTFNP
VTFNM
BVGOX
BVDN
BVDP
我大概只能猜到BVGOX代表gate oxide failed,其余的还没明白
把上下文截个图嘛
VTFNP==>poly gate 下面不是gate oxide,是field oxide 或是sti,這時候測filed device之Vth是怕punch
VTFNM==>metal gate之field device之Vth
BVGOX==>gate oxide breakdown
BVDN ==>N+PW之breakdown,也可能是nmos breakdown
BVDP==> P+/NW breakdown or PMOS breakdown
話說回來,這wat定義怎麼跟我們公司的一樣....
谢谢这位大神的回复,十分感谢啊
學習了
嗯,学习了
nicer
沒做過的工藝...