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工艺文件的缩写名词代表意义求教!

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
如题,本人在阅读工艺文件的时候发现了几个名词缩写,不太清楚其含义,在此请教各位大侠
VTFNP
VTFNM
BVGOX
BVDN
BVDP
我大概只能猜到BVGOX代表gate oxide failed,其余的还没明白

把上下文截个图嘛

VTFNP==>poly gate 下面不是gate oxide,是field oxide 或是sti,這時候測filed device之Vth是怕punch
VTFNM==>metal gate之field device之Vth
BVGOX==>gate oxide breakdown
BVDN ==>N+PW之breakdown,也可能是nmos breakdown
BVDP==> P+/NW breakdown or PMOS breakdown
話說回來,這wat定義怎麼跟我們公司的一樣....

谢谢这位大神的回复,十分感谢啊

學習了

嗯,学习了

nicer

沒做過的工藝...

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