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SMic 0.13 mixed 工艺中的TM1和MTT1有什么讲究?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
如题
这两层有什么区别?
为什么会出现Two TOP metal process?
还有在做版图时要注意些什么?

应该是对应于不同厚度的top metal,thick metal的design rule相对大一点儿,但是可以提供较大的过电流能力。这个可以找到说明。

TM1和MTT1的区别我知道的,一个是9K,一个是30K,
一般情况下,我们都是选一种Top Metal,但是在0.13的文档中,我看到了Two Top Metals Process的字样,
我想知道的是:是不是有同时存在Two Top Metals 的可能?
如果是这样的话,那么在做版图设计的时候要注意什么?有什么讲究吗?
谢谢!

是我没看明白问题:)我重新看了一下问题,恰好手头有一份smic013的design rule,但是这个工艺我没有做过。只是把你提到的那个地方做了个截图如下:



从截图可以看出这两个层次还是上下层的关系,从这一句“1st top metal (TM1) must follow logic standard top metal design rule,2nd top metal (TM2 ) must follow MS&RF thick top metal design rule”的说明上我觉得这个工艺的特点可能是这样的:一个相对普通的工艺:假设 top-1 metal的厚度是4K,top metal的厚度是9K 或者30K option;
这个工艺的metal厚度是:top-1 metal的厚度是9K,top metal的厚度是30K;
类似于某些工艺定义的两层thick metal的工艺,这个是我的理解:)

嗯,和我想的一样,谢谢!

DINGDING

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