0.18工艺中PA层是什么?
时间:10-02
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请问一下;在0.18的工艺里,有个PA的层次,这是什么层?以前都是做点5工艺,所以不熟悉,
有可能是 PAD 看看 design rule , tf , drc lvs rule file
可能會有
可能是pad层吧
我见过的.18中的PA层是PAD层次的组成部分,PA还用于FUSE。具体有什么作用还要研究command file
哪家工艺?
PA就是去钝化层;为了打线。加在fuse上面为了保证fuse气化比较干净;电阻变得很大。
PA就是常认为的:opening,即:PA区域不做钝化,开窗,封装时做bonding .
同意楼上
学习了