请问sizing table是做什么用的？

大家好，我拿到的PDK里面有一个名称为sizing table的PDF，请问哪位知道是做什么用的?
从里面的内容上面看，是mask产生的逻辑关系。
但是在sizing（um/side）一列中出现的数字是什么意思?
比如我画红色线的地方有一个0.1.它的意思是说在生成mask的时候每个方向上都增长0.1um吗?

长大或者缩小值，就是工艺的误差

对。通常如果是负数会缩相应的尺寸。正数是涨相应的尺寸。