请问在栅上(非两头处)打孔(via1)有什么影响?
时间:10-02
整理:3721RD
点击:
请问在栅上(非两头处)打孔(via1)有什么影响?
图呢?
还是需要了解一些工艺的
先不说你打孔了
首先
你在poly上面走线了就不对
poly上走metal有什么问题?
而且poly上打孔也是很久很久以前t定的rule。之前有人test过,把contact打在thin-oxide的gate上对device也没太大影响,只不过现在foundry都定这么定义rule,违反design rule,出问题算自己的...
打via还好吧,一般不让打contact
打via1可能不是很好吧,via2应该没事,con是不允许打在管子中间的吧,drc会不过的。
两端可以,高速电路布线经常用。打在gate中间(gate oxide)这个问题是个悲剧问题,我曾经问过leader,然后说我不懂工艺,然后我试用期不合格悲剧了。