关于SMIC13下一些层的意义
时间：10-02
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在SMIC13工艺中DG,CT层是什么意思，在半导体制造工艺中，这些层又是怎么起作用的。
汗，，这些东西还是看文件吧。
需要看opus.map或者tf文档
dg : dual gate , 就是高压的od层，比如1.8/2.5v 的od区域，gate区域，
ct： contact啊， 到处都是的，
od是什么意思啊。1.8V,2.5V就算高压了?记得毕设做的IGBT有2500V也没有这个东西啊。dual gate是指有双层gate吧。那在制造工艺中他是哪一步呢?怎么实现的，有什么作用。能大致讲下原理吗?或者告诉下什么地方能查阅。
OD是T的叫法，oxide diffusion，SMIC中好像叫AA（active area）?按照小编的解释DG，是Gate为了适应更高的VT，是栅氧更厚的那层，做两层栅氧?