请教为啥金属越宽，间距越大？

工艺上刻蚀的原因。较宽的金属在刻蚀时有可能刻蚀不干净，造成短路。

原来如此啊

原来如此啊

这个理由 和工艺平台有关吗

原来这样啊。

谢谢你的回复，原来如此！

请问金属宽了，怎么会影响刻蚀啊,不懂不懂?

那metal较宽时，contact到metal边距离也要求比较大，这是什么原因呢?

期待高人啊！

宽metal一般会流大电流，尤其是ESD电流，一般会有比较大的杂讯，根据skin effect，电流实际会在金属表层流动，因此metal边缘最好不要打上contact，以免电流聚集在金属表面造成烧毁contact.

热胀冷缩看看书上，都有说明的哈

刻蚀不足，易short

学习了。多看书有好处，多逛eetop也有好处啊呵呵。

不错！~顶起。

距离太小刻蚀不干净这是工艺方面的问题跟刻蚀速率有关 具体我也说不太清楚

形象一点举个例子吧
比如你有根100um的metal，要求间距是0.5um，刻蚀的时候误差1%就是100x1%=1um，直接短路了。
平时你走个10um的线，误差了1%的话就是0.1um，还在可控范围之内。
大概就是这么个意思
以上数据纯属虚构...实际应该没这么夸张

我建议你先看看DRC文件，把规则搞清楚。

哪位高人具体讲解下

顶，易理解

金属较宽处，刻蚀较慢

我觉得也是，望高人确定下！

防止刻蚀不均匀金属连到一起

怎么感觉众说纷纭，有没有哪位高人可以，明确的总结一下（可保证正确率的），呵呵

那metal较宽时，contact到metal边距离也要求比较大--因要迴避EM 電子遷移的問題

17楼的回答很形象

学习了~