关于鸟嘴效应的问题

百度知道

birds beak， 就是管子和管子直接隔离的方法吧，
.18um以前都是用LOCOS ，local oxide cmos xxx不记得了，
这种方法引起的birds beak效应，有些坏处， 具体不记得了，要看半导体工艺的书
然后现在都是STI（ shallow trench isolation）了， 就避免了这个鸟嘴效应

这个不管是工艺流程还是版图相关书籍上都有介绍吧,小编自己勤快点咯~

太复杂太书面的问题~微电子相关的或者工艺书上应该都有哒！

鸟嘴效应顾名思义是说形状很像个鸟嘴，主要是老工艺上用到了LOCOS会出现这种情况，场氧隔离的时候要长厚氧，是湿法长的，因此会有一部分尖尖的鸟嘴长到栅去，减小了W的实际长度

这个就是 你看下就知道了[img][/img]

感謝樓上的大大詳細的解答

我看7楼的图不错，可以解释了，不过就是夸张的多了，如果没有看懂那你 就要去了解工艺，或者你找我给你图做比较。

可能是因为晶向不同引起的扩散速度不同导致的现象

老工艺