关于金属覆盖率

你说的是金属密度吧，金属密度一般foundry 都会给出一个范围值得，主要是出于对化学机械研磨（CMP ）的影响考虑

还有就是密度太高的话，可能会造成过刻蚀，不该刻蚀的被刻蚀掉了，太低又可能造成刻蚀不够，有的没有刻蚀掉

多谢指点！

多谢指点！

CMP研磨工艺，metal密度不够会造成金属碟化和金属层侵蚀效应，影响研磨效果而造成metal厚度不均匀，影响可靠性。

It's main effect the transparent of the light which will effect the etch rate during processing

那金属覆盖率的问题一般怎么解决的呢

加宽金属应该能改善一些吧。

原来这样啊，学习了

现在都有专门的脚本用以填充Dummy Metal以及OD、POLY
可以选择不同的方式填充，在关心的地方可以填上阻挡层避免Dummy层的覆盖

加dummy metal， 一般有runset来run的，

应力的要求

那如果覆盖率达到70% 是不是太高了

指教了，补充了知识呢

学习了啊，呵呵

luguoluguo

受教了，谢谢！

能加就尽量加一些吧，比如用calibre的runset，
这个在65下 DFM 的要求还是很高的

工艺厂在制造芯片的时候，腐蚀液在刻蚀金属的时候，如果金属密度不够，有可能会把其刻蚀断，所以需要一定的金属密度

最好在工艺推荐的范围内。否则影响良率。

一般还是要加的。否则影响良率~
拿Calibre的脚本跑一下还是很快的