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请专业大拿讲讲这就是传说中的光刻机吗?离实用化还有多远?

时间:12-12 整理:3721RD 点击:
 7月7日上午,中共四川省委、省政府对2015年度四川省科技进步奖进行表彰。民进四川省委会常委、四川省政协常委、中科院光电技术研究所罗先刚完成的技术发明类项目《超构表面电磁功能器件原理、方法及应用》获特等奖。经严格评审,共268个项目获2015年度四川省科学技术进步奖。其中特等奖仅此1项,一等奖34项,二等奖73项,三等奖160项。
  《超构表面电磁功能器件原理、方法及应用》由罗先刚与赵泽宇等其他6位中科院同事共同完成。该项目基于超构表面结构发明了一套拥有自主知识产权的电磁调控原理、方法和技术,突破了传统技术原理瓶颈,发明了一系列新型电磁功能器件,所建立的相关理论模型是基础领域取得的原创性成果,主要技术指标处于国际领先水平。项目主要发明包括:(1)提出了基于超构表面的位相调控原理方法,改写了经典折反射定律,发明了多种轻量化、平面化位相调控器件,实现了任意波前校正、宽带极化调控、位相和偏振动态调控等功能;(2)提出了基于超构表面的电磁吸收原理方法,突破了传统吸波材料的planck-Rozanov带宽-厚度极限和居里温度极限,发明了耐高温、轻质宽带、轻质透明、动态吸波调控等新型超构表面吸波器件;(3)针对超构表面结构光刻加工技术存在的分辨力极限瓶颈,发明了超分辨成像光刻器件,从技术上突破了衍射极限,再365nm波长下单次曝光获得22nm线宽、0.24倍衍射极限的图形。
  该项目获发明专利79项,发表SCI论文180余篇,得到40余位国外院士及学会Fellow在内的国际同行引用3600余次,被评价为变革性、替代性技术。项目成功解决了载人航天、激光束控制、空间成像等19项国家重大任务中的技术难题,促进了我国战略高技术和国防科技进步。

听说经费才50w
这个纯粹就是学术文章?
原理方法应用是什么鬼 按他自己的思路在他自己的系统里面解决了一个关键技术?
ieee sci的论文到工业产品都20-30年半个世纪吧

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