求篇文档&SMIC 0.18um E-Fuse咨询
时间:12-12
整理:3721RD
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各位大牛:
咨询一下,哪位有SMIC 0.18um MS工艺中的E-fuse(PolyFuse)的设计经验,熔丝的w和l怎么做能够保证6mA的编程电流可以烧断。
另外,求帮忙下篇文档,“Lifetime study for a poly fuse in a 0.35μM polycide CMOS process”谢谢。
咨询一下,哪位有SMIC 0.18um MS工艺中的E-fuse(PolyFuse)的设计经验,熔丝的w和l怎么做能够保证6mA的编程电流可以烧断。
另外,求帮忙下篇文档,“Lifetime study for a poly fuse in a 0.35μM polycide CMOS process”谢谢。
不只w和l有关系,跟形状也有关系,要达到很高的成功率难以一次成功的,要符合多工艺、电压和温度角嘛