硅晶片上的痕量杂质是如何探测的？
时间：12-12
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离子迁移谱像质谱一样，没见过用来测wafer，都是做气体痕量检测啥的。
见过的wafer表面元素分析的报告，都是XRD或者SIMS的，XRD的居多，便宜。
学习了，原来trace metal中文翻译是痕量。。。
ICP-MS是300mm bare wafer表面金属标准测量方法
好像XRD没有测300mm的。