求教一下 non-salicide 与 salicide 区别
时间:12-12
整理:3721RD
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谷歌了一下,没找到明确答案,求指教!
non-salicide 电阻与 salicide电阻 区别,怎么使用?
※ FROM: 120.204.251]
※ 来源:·水木社区 http://www.newsmth.net·[FROM: 120.204.251]
non-salicide 电阻与 salicide电阻 区别,怎么使用?
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salicide是为了减小poly gate电阻在上面做的金属溅射
所以高方块电阻的poly电阻都是non-salicide的。
另在某些工艺下,有些ESD的保护结构中,漏极也是没有salicide的
ESD那个主要是对有源区做salicide block,为了增加GGNMOS(一种ESD器件)的漏极电阻,以实现它的导通一致性. 具体原理可参加GGNMOS的工作原理
re
刚才写错了,那个salicide block是加在drain端,相当于加大drain端接触电阻,提高耐压
其实也不光是drain
通常情况是source, drain和gate一起做的,所以要不做就都没有了
是的,一般source和drain都做的。至于说gate做,有什么用呢?
此其一
另外,在大多数情况下,就算不想要也没办法,这么窄的gate,也没有办法单独屏蔽掉gate不做salicide而不带来任何后果。要不然也不叫salicide了
salicide 工艺是在多晶硅栅和源漏上形成金属硅化物,降低互连电阻,目前多用此工艺!
对应的有polycide,只在栅上形成金属硅化物!