请教：laser trim烧不断金属条，怎么办

设计了laser trim来修调电路，要烧的金属条是1200A的TiW+9000A的Al/Si/Cu，金属条宽
度是1.2um的，金属条上设计了pad窗口。结果发现有一部分金属条一次烧不断，一测还连
着，要烧两次才行，请教：
1. 对于能否烧断，主要是金属条的厚度还是宽度决定的？抑或是横截面积决定的？如果激
光功率不能增大，要如何调整金属条能让它比较容易烧？
2. 要烧的金属条上可以覆盖多厚的介质层？整个钝化层(5KA氧化层+7KA氮化硅)都盖着行
不行？
3. 对于测试厂，如上描述的金属条不能保证一次烧段，这是正常水平吗？还是水平比较
差，可以另有更好的厂家？有推荐的地方就更好了，大陆、台湾不限。

你这个例子里面，1.2um。。。建议改下金属层吧，把宽度缩到0.5um左右。然后注意fuse周围的layout，毕竟激光过后，边上可能有熔渣。 另外，如果电路宽容度不高，也会是问题。
若干年前我在1um工艺上做到0.5um的al fuse，埋倒氧化层里面用电流大概也可以硬给烧断了。
不过强烈不建议埋氧化层里面。无论是laser还是otp。
用poly 可能会略好些？ 这个不构成建议。更简单的话，换工艺用flash吧。

现在用poly的多很多，很多power工艺都是有fuse的设计文档和规则的，按着设计就可以了。如果没有要自己做的话太麻烦了，得自己去验证fuse的各种可靠性和可重复性