请问大家一般scribe line自己画吗?
时间:12-12
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请问一般scribe line画多宽?0.18,0.13,65nm的scribe line宽度是不是要求不同? scribe line的中心到pad中性距离是多少? 另外scribe line怎么画,包含哪些层次,是什么结构?这些fab厂有相应的rule文件介绍scribe line的画法吗?
谢谢
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谢谢
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应该是不同。我们90nm工艺的scribe line现在要求是60nm,不过padring外面先是23nm的sealring, 然后才是scribe line。此外还有个奇怪的要求是最后x y都是偶整数。
这方面我不是专家,只能提供一点信息做参考