做sensor这类的是怎么回事

现在sensor大部分都是mems（微机电系统）制程的，mems是微电子的一个分支。sensor设计和加工是一体的，ic的设计和加工是分开的。driver（驱动器）和sensor（传感器）不是一类东西，驱动器包括微泵、微阀、微光学镜片（micromirror），在生物传感器和光学mems中应用较多。

话说mems什么成了微电子的分支了?你这么说不怕把做mems的人得罪光了:)

mems本来就是微电子的一个方向吧
大多数大学mems专业不都在微电子学下面

大多数大学的mems专业都不在微电子下面。只有北大清华东大等学校在微电子专业下有mems方向，并且不一定是mems的主力军，比如清华就以精仪的mems为主，东大吴健雄实验室的mems也不比黄庆安的实验室差，甚至经费更多些。其他大学多数是在物理/机械/化工/材料/光学/生物/纳米/能源/自控等专业。
搞mems微电子出身的人很多，而且最早一批的memser都是和微电子相关，但不代表说mems本来就是微电子的一个方向。即使仅从mems的起源看，只有美国mems技术在发展初期和微电子联系比较紧密，而德国和日本基本上不是从微电子方向发展起来的。