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这个drc规则是出于什么目的?

时间:12-12 整理:3721RD 点击:
宽金属与窄金属间的space比两个窄金属间的要更大

不是很明白。这里的loading指的是什么呢?:)

etch和photo过程中,同样的能量作用于不同loading的目标物的时候,就会用偏差
这是我的理解

宽金属更容易发生应力crack,所以space需要更大的rule。

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