这个drc规则是出于什么目的?
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宽金属与窄金属间的space比两个窄金属间的要更大
不是很明白。这里的loading指的是什么呢?:)
etch和photo过程中,同样的能量作用于不同loading的目标物的时候,就会用偏差
这是我的理解
宽金属更容易发生应力crack,所以space需要更大的rule。