rphpoly/rplpoly/rphripoly这几种电阻在制造时有什么区别？
时间：12-12
整理：3721RD
点击：
如题谢谢
前两者是有无silicide的区别，
一和三掺杂浓度不同
是不是说
rphpoly: 无silicide,掺杂浓度高；
rplpoly: 有silicide,掺杂浓度高；
rphripoly: 无silicide，掺杂浓度低。
请问一下，poly电阻率是随温度升高而降低的
而MOS的电阻率是随温度升高而升高的
这两者的机理有什么不同么？