微波EDA网,见证研发工程师的成长!
首页 > 研发问答 > 微电子和IC设计 > 微电子学习交流 > 请问Ti的腐蚀液?

请问Ti的腐蚀液?

时间:12-11 整理:3721RD 点击:
常用的是什么?哪有卖的。
多谢

钛为主要元素时,主要考虑腐蚀TI,氯化氢气体能腐蚀金属钛,干燥的氯化氢在>300℃时与钛反应生成TiCl4,见 式(3);浓度<5%的盐酸 在室温下不与钛反应,20%的盐酸在常温下与钛发生瓜在生成紫色的TiCl3,见式(4);当温度长高时,即使稀盐酸也会腐蚀钛。>5%的硫酸与钛有明显的反应,在常温下,约40%的硫酸对钛的腐蚀速度最快,当浓度大于40%,达到60%时腐蚀速度反而变慢,80%又达到最快。加热的稀酸或50%的浓硫酸可与钛反应生成硫酸钛(这些对金几乎没有效果)
金为主要元素时,采取王水腐蚀(对钛无效)
钛金板是用不锈钢板抛光成镜面基础上用大型真空镀膜设备镀上一层高耐磨、耐腐蚀的金黄色氮化钛金层
氟化钠加少量盐酸水擦洗可以除去钛金层
转自百度

这个我之前也见到,但是感觉有的地方说的很不清楚,没有出处,所以上来看看有没人做过类似的工作。
还是谢谢你。

HCL和HF和水,有一个配比
对钛和氧化层都有作用
所以要控制时间

有个问题,HF对这个配方影响大吗?因为样品上有不耐HF的成分。
如果使用这个配方,用什么容器?玻璃?塑料?
还有,这个配方的刻蚀速率如何?
多谢

这个配比是我在一个网站上收集的,具体腐蚀速度也不太清楚,我觉得使用塑料容器较好,你可以试试

Copyright © 2017-2020 微波EDA网 版权所有

网站地图

Top