基于高温的微型压力传感器

，在不同的温度下拟合的电容值和温度的关系如表1所示（加入1%的白噪声）。

1可见，拟合的电容误差小于1%。由此可见，在不同的时刻测得UO（t），通过曲线拟合得出参数RC。再给电路加小信号直流电源，测出R值，即求得C，通过C值则可知被测环境的压力。图5为350℃时，不同的压力所对应的电容的理论值和实验值，从实验数据（表2）可得，在测压的过程中，利用模型识别的方法，误差较小，其测压误差小于2%。

3结束语

基于模型识别技术的高温微型压力传感器电路简单、工艺成本较低、体积小、可批量生产、准确度高。该传感器避免了电阻式高温压力传感器的自补偿电路在高温环境下工作时热灵敏度漂移引起的误差，也避免了其它电容式高温压力传感器非线性补偿电路在高温环境下工作。该传感器适合在各种高温环境下测量气体或液体的压力。