单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统

路阻抗和电路系统放大倍数。U6(AD797)运算放大器是 将C11、R16组成的高通滤波器去除低频干扰后的电压信号经适当放大，为下一步同步解调作好准备；U3(AD797)运算放大器组成的移相电路，其作用是使调制信号和解调信号同步；U5同步解调器，采用ADI公司生产的平衡解调器AD630，经U5同步解调出的电压信号就是反应振动加速度大小的信号；U9(OP137)运算放大器组成二阶有源低通滤波器，滤除信号中高频噪音成份；U10(OP177)运算放大器组成 跟随器，信号经调整后跟随输出。

　　U7(OP137)运算放大器组成反馈AGC回路，将振动加速度信号的输出信号反馈回源极，使动极板产生和加速度方向相反的静电力，目的是增加加速度计的灵敏度和带宽。该套加速度计的分辨率为2-18。

　　激励信号采用正弦交流信号而不用方波信号，是因为方波信号为离散信号没有连续性，解调时易产生尖峰脉冲杂波，杂波不易滤除，并且贯穿整个电路，影响测量分辨率。