国家大力支持MEMS产业化，你准备好了吗？

2015年10月27日，中国半导体行业协会MEMS分会一届二次会员大会暨年在苏州国际博览中心召开，东南大学MEMS教育部重点实验室主任黄庆安教授作为演讲嘉宾，做了题为《中国MEMS产业化发展现状和机遇》的演讲。

黄主任首先给参会嘉宾介绍了国家"863计划"MEMS研究与发展，他指出，上世纪90年代后，国家就通过MEMS基础研究项目、"863计划"、"973计划"支持MEMS相关领域的研发活动。

黄庆安主任介绍国家863计划MEMS研究和开发

2001年到2015年，国家"863计划"开辟出一个专门的MEMS方向，总共得到了7.03亿元的支持经费。整个15年期间，"863计划"的主体包括高等学校、中科院研究所，也有企业。国家"863计划"MEMS研发内容被分为三大类：

国家863计划MEMS研发内容

第一类：关键工艺与平台。主要指技术的研发，MEMS的设计工具，包括前端的设计、封装技术、可靠性等，这些共性的技术，主要面对高校和科研院所。

第二类：MEMS器件。基本覆盖所有MEMS相关的内容，如压力传感器、加速度计、陀螺仪、麦克风、红外成像、流量计、湿度传感器、电量传感器、风速传感器、指南针、射频传感器，以及医疗传感器、微流控芯片、微执行器、能量收集器、芯片级原子钟等新器件。

第三类：MEMS系统。支持的项目包括环境监测系统、医疗系统、生物、化学系统、惯性微系统等。典型代表为重庆金山集团，作为国家"863计划"支持企业，金山集团成功开发了胶囊内镜、胶囊机器人、pH胶囊、阻抗CT、大型手术机器人、人工耳蜗、微型生化分析光谱仪等数十项国际领先水平的医疗器械产品。

从产业发展而言，2014年，全球MEMS市场规模为120亿美元，预计2020年将达到220亿美元，折合人民币约为1千亿，作为新兴产业而言，市场规模较为可观。

2014年，全球排名前30的MEMS厂商当中，博世的市场营收为12亿美元，意法半导体市场营收为8亿美元；前30名MEMS厂商当中，中国占据了2个席位，瑞声科技，排名20；歌尔声学，排在第27位。从产业的角度而言，对中国MEMS企业起到了很好的引导示范作用。

现如今，集成电路把尺寸做得越来越小。从制造的角度而言，当年的集成电路，把电阻、电容、晶体管，分立在一个电路板上，现在集成在一起，已经发生了改革。以后，集成电路成为一块圆片，如果无源元件，也采用这种圆片制造方式，传感器MEMS也是圆片制造，天线也是圆片制造，最后都是圆片的时候，把它叠起来，最后出来一个系统。不管从制造还是设计来看、这是MEMS发展的最高目标。

多种集成电路和MEMS集成

然后，黄主任介绍了物联网的智能灰尘，其原型是90年代中期，由加州大学伯克利分校手工制成而成，把电路板、传感器，能量存储，超级电容、射频、天线等放在一起，做成之后的尺寸为6cm × 3cm × 2.5cm。到今天，体积已经变成2mm × 0.5mm大小，在2立方毫米以内完成感知、计算和通讯。

2015上半年，黄主任联合苏州纳米公司做了一个报告，主要调查中国MEMS企业（不包含外资MEMS企业、中外合资MEMS企业、港澳台MEMS企业）。从统计数据来看，2000年时候，中国有23家MEMS企业，包括改制了的研究所。如沈阳工业设计研究院、十三所。到2014年，中国的MEMS企业已经有190家。截至2015年10月份，预估数据为200多家。报告对190家企业进行产业链细分，做MEMS软件与专用电路的有11家，如英特神斯；做MEMS产品设计的有143家；做MEMS封装与测试的有16家；做MEMS前端制造工艺线的，有20家。

中国MEMS产业状况

从地域分布而言，中资MEMS企业在江苏有58家，北京25家，广东25家，上海19家，浙江10家，山东、陕西各9家。不难看出，MEMS企业主要集中在发达地区。因为MEMS行业更需要人才，发达地区的MEMS人才相对而言较为集中，能适应MEMS企业的发展和扩大。

从产品类别而言，中国MEMS公司中，做惯性传感器有44家，包括加速度传感器和陀螺仪；做压力传感器有43家；做光学MEMS有35家；做温湿度传感器有13家；做声学MEMS（麦克风）有13家；做医疗MEMS有9家；做RF MEMS有7家；做磁场传感器有5家；做气体传感器有5家；做流量传感器有4家，做其它MEMS有4家。

分析完中国MEMS产业链的分布状况，黄主任从技术层面剖析了各大应用领域的传感器。

第一是智能手机领域， 2014年全球智能手机销量为12.06亿部。中国智能手机销量为1.03亿部。在智能手机里面，已经用到的传感器，如麦克风，是应用较为广泛的。其它如导航、加速度、环境敏感、磁尝环境气压、环境压力。还有一部分小批量应用正在研发和尝试，如射频、电池、红外敏感。2014年，智能手机领域占据约25亿