智能手环背后的MEMS传感器大起底
时间：10-18
来源：OFweek
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Sensor芯片采用InvenSense的 Nasiri工艺，该工艺能够与标准CMOS工艺紧密结合，并且使用体硅技术实现主要MEMS结构。ASIC芯片与MEMS芯片采用晶元级铝锗建合。
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