美国Ziptronix对5层CMOS和光电二极管进行3维封装
时间:03-18
来源:技术在线
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美国Ziptronix与Raytheon Vision Systems(RVS)合作,对5层CMOS元件和光电二极管进行了3维层叠。在层叠时,采用了Ziptronix开发的名为"Direct bond interconnect(DBI)"的3维封装技术。
采用DBI技术,在芯片与晶圆、晶圆与晶圆接合时,也可在室温下实现3维封装。布线间距在10μm以下,布线宽度为2μm左右。此次在形成有CMOS元件的晶圆上,层叠了RVS公司的芯片。布线间距为8μm。可在确保接合部连接性的同时,通过所有光电二极管获取图像。(记者:河合 基伸)
对5层CMOS元件和光电二极管进行3维封装 |
在形成有CMOS元件的晶圆上层叠RVS的芯片 |
通过3维封装的芯片获取的图像 |
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